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盛美篇|半导体零部件国产替代加速,半导体设备龙头企业盛美批量使用保视丽超净PFA管

2024-04-25

随着芯片制程技术的不断进步,晶圆对杂质含量的敏感度日益增加。在晶圆制造过程中,引入的杂质对芯片良率和生产效率有着至关重要的影响,因此,先进的清洗设备在半导体生产中扮演着关键角色。


盛 美 概 况

盛美(上海)成立于2005年,一直是集成电路装备行业的领军企业,被评为“中国半导体设备五强企业”。产品线广泛,包括单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备等,集研发、设计、制造、销售于一体,专注于为半导体芯片制造商提供高性能、低能耗的工艺解决方案。



盛美凭借全球首创的SAPS/TEBO兆声波清洗技术和Tahoe单片槽式组合清洗技术,解决了晶圆在刻蚀后有机沾污和颗粒的清洗难题,提升了半导体的生产效率和产品良率,是中国大陆少数具有国际竞争力的半导体专用设备提供商。



01
半导体清洗环节
超净PFA管的关键作用

在半导体制造流程中,湿法清洗是一个至关重要的环节。盛美自主研发的空间交替相移(SAPS)兆声波等高新技术,结合功能性水,能够更高效率地去除晶圆上的细小颗粒、光刻胶等杂质。

功能性水,是含有特定溶解气体的水溶液,配合少量化学物质,通过SAPS兆声波技术产生的高频振动,极大提升了清洁效率。

保视丽超净PFA管的重要作用就是运输功能性水,确保功能性水的高纯无杂质传输,保障盛美(上海)的生产工艺。


02
唯一PFA管国内供应商
保视丽的三大优势

值得关注的是,保视丽是盛美(上海)唯一的国内PFA管供应商,通过持续的自主技术研发和卓越的产品性能,打破了顶尖半导体企业仅采购进口PFA管的现状,率先实现了半导体级PFA管的国产替代。


目前,保视丽超净PFA管具备三大领先优势:


一、性能优势:采用进口大金AP 231SH高纯原材料,并通过高精密耐腐蚀PFA管材挤出机生产,确保产品的高纯净度和卓越性能。

二、品质检测:在百级实验室中,运用安捷伦ICP-MS/MS 8900等尖端设备进行产品质量检测,保障每批成品的标准化生产。

三、自主研发生产工艺:拥有完善的生产流程,保障产品的稳定性和可靠性。



伴随国内半导体产业的高速发展,作为国内领先的PFA生产厂商,保视丽超净PFA管正在被广泛应用在各半导体生产环节中,为国内顶尖半导体企业提供专业化的零部件,共同促进产业升级。



 
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