01、什么是PFA材料?
PFA俗称可熔性PTFE,是四氟乙烯与少量全氟烷基乙烯基醚的共聚物,可注塑、挤出、吹塑成型,解决PTFE难加工的问题,主要应用于半导体设备部件、高纯化学品储罐、医疗级管路等领域。

02、什么是半导体级PFA?
根据产品纯度、性能和应用领域,当前国内PFA主要可分为普通级、涂料级、超纯级、半导体级四类。其中,半导体级因对纯度要求严苛,导致研发生产难度较高。
03、半导体级PFA的优异特性
在半导体清洗、蚀刻、沉积等工艺处理中,需要大量使用氢氟酸、盐酸、硝酸、硫酸、磷酸铵、过氧化氢水溶液等湿电子化学品。因此,具有优越的耐腐蚀、耐高温、超纯的半导体级PFA制品成为先进制程的首选。
半导体级PFA具有以下优越性能:
在面对各类强酸、强碱和有机溶剂时,半导体级PFA具有卓越的抗腐蚀能力,可有效防止化学物质对设备的损害,确保半导体设备正常运转。
半导体级PFA材料具有极强的化学惰性,该材料制成的管件、接头和阀门等产品的金属离子析出量极低,可确保半导体湿电子化学品在运输过程中的高纯净度。
作为优异的绝缘材料,半导体级PFA于宽温度范围内具有稳定的介电常数、高表面电阻率。另外,PFA电绝缘性不受温度影响,这使其于高温环境下依然保持优良电气性能。
04、半导体级PFA的应用范围
半导体级PFA材料制成的PFA管件、PFA接头、PFA阀门等制品广泛应用于半导体制造领域。
半导体制造需要在洁净的环境中进行,半导体级PFA制品,例如PFA管件可应用于洁净室中的各种管道系统,如气体输送、液体输送和排放等。其洁净度高、耐腐蚀性强,可保证洁净室的稳定性和安全性。
晶圆是半导体制造的核心材料,需经过多道处理工序,包括清洗、沉积、蚀刻和封装等。半导体级PFA产品可应用于晶圆处理设备中的传输管道,提高设备性能和生产效率。
CMP是半导体制造中常用的表面处理技术,用于去除晶圆表面的微小颗粒和粗糙度。半导体级PFA产品可作为CMP设备中的进料管道和循环管道,保证设备正常运行。
在半导体制造过程中,各种气体被广泛应用于化学反应和加工。半导体级PFA产品还可用于气体输送系统,如真空管道、气流控制管道和废气排放管道等,保证气体输送系统的稳定性和安全性。
05、半导体级PFA的发展现状
随着大规模集成电路的高集成度、高密度、精细化发展,对半导体生产过程中使用的材料提出了更高纯度和功能性的要求。目前大部分半导体厂商还依赖进口PFA产品,但保视丽通过持续研发技术投入,已打造出多款半导体级PFA材料产品,如超净PFA管件、超净PFA接头等,满足行业快速发展需求。