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华海清科篇｜保视丽超净布——国内CMP设备龙头的洁净武器
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华海清科篇｜保视丽超净布——国内CMP设备龙头的洁净武器

2024-05-29
“如果将芯片的制造比作房屋的修建，那么每一楼层都必须要十分平整，否则影响芯片整体性能，CMP技术就是纳米级芯片能够被‘平整搭建’的关键。”

CMP是先进集成电路制造前道工序、先进封装等环节必需的关键制程工艺。华海清科以其掌握的CMP自主研发关键技术，成为国内半导体行业龙头企业。

华 海 清 科 概 况

华海清科股份有限公司(股票代码:688120)是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商，公司主要产品包括CMP设备、减薄设备、供液系统、晶圆再生、关键耗材与维保服务，为半导体行业提供从8英寸至12英寸晶圆产线的全面解决方案。

华海清科是国内唯一能提供12英寸CMP商业机型的厂商，产品已广泛应用于中芯国际、长江存储、华虹集团、英特尔等知名芯片制造商的生产线，成为推动国产半导体自主可控的重要力量。




01
国产替代标杆企业
华海清科的领先水平

据了解，华海清科先后承担、联合承担了两项“国家科技重大专项（02 专项）”及三项国家级重大项目/课题，并针对纳米级抛光、纳米颗粒超洁净清洗、纳米精度膜厚在线检测、大数据分析及智能化控制等 CMP 设备核心关键技术取得了有效突破和系统布局，处于国内领先水平。

在强大的技术背景下，华海清科对于生产中零部件的应用，也有着更高要求。

为了确保设备的生产和维护过程中的高洁净性，华海清科选用了保视丽超净布系列产品用于设备清洁，避免由于污染导致的器件失效或性能下降，对于设备生产过程中的高良率起到了重要作用。


02
洁净武器
保视丽超净布的应用

在华海清科的设备生产过程中，保视丽超净布是专用的清洁工具，在生产制造环节有着重要作用：


材质与结构

  • 纯净耐用：100%聚酯纤维或超细纤维，保证超净布的纯净度和耐用性；

  • 结实耐用：连续编织技术，增强布料结实度，减少微粒产生，维护环境纯净；


高效清洁

  • 强吸水性：卓越的吸水性能，迅速吸收并锁住水分，有效清洁溅射和污渍；

  • 高除尘效率：高效清洁表面尘埃和微粒，维持设备清洁与功能性；


敏感表面保护

  • 柔软保护：柔软特性，温和清洁，避免损伤设备表面；

  • 封边工艺：特殊封边技术，如热切或激光，防止绒毛产生和纤维遗留；


防静电

  • 防静电处理：减少静电积聚，避免尘埃吸附。



目前，保视丽的超净布系列已经具备40多个自主研发知识产权，具有行业技术领先优势。早在2021年发布的中国电子学会《防静电超净技术产品行业市场研究报告》中，保视丽就被列为“中国超细纤维无尘布（即超净布）的主要制造商之一”，并以其36%的高额市场占有率位居行业榜首。

在国际贸易摩擦下，半导体装备的国产化应用进程加快。保视丽作为上游零部件的优质提供商，正积极做出贡献，为产业上下游提供专业服务，促进产业发展。
 
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