在晶圆制造对高纯输送管路的洁净度要求中,金属离子析出与颗粒物析出是最核心的两项指标。BSL(保视丽)超净PFA管历经多轮指标验证,性能稳定优异,关键指标均达到国际一线水平,满足先进制程要求。

在金属离子析出验证测试中,BSL实验室模拟37% HCl溶液、85℃恒温、持续7天静态浸泡的极端测试工况。结果显示,Na、Al、Fe等关键离子析出量远低于同类国际品牌产品。超净树脂原料与高温熔融挤出工艺协同作用,从生产源头抑制杂质引入,为先进芯片制造构筑起一道洁净防线。

同时,在以超纯水(UPW)循环冲洗的颗粒物测试中,超净PFA管颗粒数显著低于国际一线产品,尤其在≥0.2μm的关键粒径段,颗粒数几乎为零。借助自主工艺技术,BSL超净PFA管实现了更低的表面粗糙度(Ra值),使内壁更加光滑,从物理根源上减少颗粒的停留与吸附。

随着先进制程不断演进,高纯输送管路的洁净门槛持续抬升,BSL始终以创新产品力赋能半导体先进制造。目前,超净PFA管产品已稳定应用于半导体先进制程设备、高纯化学品输送工程项目等领域。
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