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未来几年CAGR可达16%:超净PFA管为何是支撑半导体制造的重要零部件?

2025-12-26

华经产业研究院发布的调研数据显示,近年来我国PFA市场发展迅速,考虑到电子级、医疗级PFA产品的国产化进度及下游需求释放节奏加快,预计2028年市场规模有望达到4.81亿美元,2024-2028年年均复合增长率约为16%。



在这一增长趋势中,超净PFA管作为高端PFA产品的重要代表,尤其受到半导体等精密制造领域的关注。那么,超净PFA管究竟具备哪些核心优势,使其在半导体制造领域拥有如此重要的地位与广阔的市场前景?

超净PFA管与普通PFA管的关键区别在于管件的纯净度。该类管材能够满足先进半导体制程中对湿电子化学品包装材料的极致洁净要求,金属离子析出量可控制至ppt级。




超净PFA管的原材料为PFA,该材料是四氟乙烯(TFE)与全氟烷基乙烯基醚(PPVE)的共聚物,其物理、化学及电气性能与聚四氟乙烯(PTFE)相近。不同的是,PFA分子链上引入了少量全氟烷氧基侧链,从而改善了材料的熔融流动性,使其可通过注塑、挤出等方式加工成型,因此也被称为“可熔性聚四氟乙烯”。

普通PFA管因含有末端不稳定基团,容易释放离子杂质,限制了其在半导体等高纯环境中的应用。而超净PFA管通过原料与工艺优化,显著降低了不稳定基团含量,进一步提升了材料纯度与稳定性,使得金属离子析出浓度大幅下降,故适用于半导体制造中高纯化学品的输送。

保视丽超净PFA管采用进口高纯PFA原料,通过自主核心技术,对塑化、挤出等关键工序实施精准管控,从而制造出符合先进制程要求的超净管材。目前,该产品已广泛应用于晶圆清洗、化学机械抛光(CMP)、沉积等多个高端工艺环节。

在性能上,超净PFA管具有以下几方面突出优势:
1、卓越的耐化学腐蚀性,使其能够耐受氢氟酸、硫酸、硝酸等强酸、强碱、强氧化剂及各类高纯溶剂的侵蚀;
2、良好的耐高温特性,可适应化学气相沉积(CVD)、扩散、离子注入等高温工艺环境;低释气性,可有效避免在真空工艺环境中释放气体分子造成污染;
3、具备低介电常数等优良电气性能,适用于需要电气绝缘的部件。

因此,超净PFA管也被称作在半导体制造中的“黄金血管”,它承担着高纯度化学品传输的重要作用,是Fab厂建立完整、可靠的高纯流体分配体系的关键零部件。
 
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