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洁净度持续升级!保视丽连获2项防静电实用新型专利

2025-11-14
在半导体制造领域,电子化学品输送过程中产生的静电积聚是影响流体纯净度与工艺稳定性的关键挑战之一。

在前段工艺环节,有机溶剂在系统内输送时,会因电荷分离而产生静电,且由于大多数有机溶剂导电性能差,产生的静电不易消散,容易引发瞬时放电,导致化学品离子污染。因此,化学品传输耗材的防静电技术至关重要,它能够有效防止静电积累对设备与产品的损害。

2025年以来,保视丽在超纯氟材料(PFA)产品的防静电技术上持续突破,成功获得2项实用新型专利:“一种PFA管除静电除尘装置”和“一种半导体行业用PFA静电耗散管”。

  • 一种PFA管除静电除尘装置

该专利设计了包括环形体和高压高频放电针的除静电组件及吹气组件,解决了PFA管生产过程中静电和灰尘污染的问题,显著提高了管体表面的洁净度。

  • 一种半导体行业用PFA静电耗散管

该专利利用在PFA管外壁缠绕导电PFA条带的设计,解决了半导体行业中超净高纯试剂在输送过程中静电积聚的问题,实现了静电的有效消除,保障了半导体制程的稳定性和安全性。

保视丽的2项专利从结构设计出发,有效阻断了静电的产生与积累路径,显著提升电子化学品在传输环节的洁净度,构建起一道可靠的“静电防护屏障”。

截至目前,保视丽在超纯氟材料领域已累计获得20余项专利。未来,公司将持续推进产品工艺优化与技术创新,为电子化学品的高纯度、高稳定性传输提供坚实基础。




 
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