湿电子化学品是电子制造过程中不可或缺的关键液体材料,广泛应用于集成电路(IC)、显示面板、光伏电池等领域,主要承担清洗、刻蚀、显影、剥离、电镀等湿法工艺功能。
在半导体先进制程中,这类化学品对纯度具有极高要求,通常需达到“电子级”标准,即杂质浓度低于1ppb(十亿分之一),甚至达到ppt(万亿分之一)级别,以避免对晶圆或器件造成污染和性能损伤。
01、湿电子化学品传输材料标准
为保障湿电子化学品在存储与输送过程中维持超高洁净度,半导体行业普遍遵循国际半导体产业协会(SEMI)制定的SEMI F57标准。该标准是针对超纯水及液态化学品输送系统中聚合物材料及组件的权威规范,明确了超高纯度聚合物材料和组件在机械性能、溶出物、颗粒释放等方面的技术要求及验证方法。

02、湿电子化学品关键传输材料的选择
高纯输送的首选材料PFA(可熔性聚四氟乙烯)
半导体湿电子化学品对金属离子、颗粒物等杂质极为敏感,一般要求金属离子含量控制在ppb至ppt水平,颗粒物需低于0.1μm。供应系统必须做到零污染导入,因此与液体接触的所有部件材质至关重要。
PFA因其卓越的耐强酸、强碱和有机溶剂腐蚀的能力,成为除部分有机化学品外大多数湿电子化学品输送管道的首选材料。其内壁光滑、不易附着颗粒,离子析出率极低,兼具适度的柔韧性与透明度,便于安装和观察,是一种理想的高纯化学品输送材料。
为满足先进半导体制程的需求,湿电子化学品必须达到G4、G5等更高纯度等级。而传统PFA材料也面临防渗漏、低析出等性能提升的挑战,目前,半导体级超净PFA管已成为半导体行业的主流产品。
大宗包装与供应的关键材料HDPE(高密度聚乙烯)
在化学品供应系统中,除了管道,包装容器同样直接影响化学品品质。根据日消耗量不同,供应系统可分为槽车供应和200L桶供应两种形式,其中200L桶因灵活性和经济性,在多数中低耗量场景中广泛应用。
在半导体制造中,200L桶的常见原材料就是HDPE。
半导体级HDPE桶须具备优良的化学稳定性、极低的金属离子析出和高洁净度。此外,还需具备良好的机械强度、抗老化性能及轻便特性,以适应频繁搬运和长期使用需求。
在各类高纯化学品包装桶中,G5级HDPE桶的技术壁垒最高。为满足其极高的洁净与阻隔性要求,业界普遍采用进口高纯HDPE材料,并结合三层共挤、中空吹塑等特殊工艺进行生产,以确保产品能够达到先进半导体制造对包装材料的严格标准。
03、高纯传输与包装材料解决方案供应商——保视丽
在湿电子化学品存储与传输领域,保视丽致力于提供符合SEMI F57标准的高品质材料解决方案。公司通过自主研发,推出半导体级超净PFA系列产品,包括超净PFA管与超净PFA接头,产品符合SEMI F57标准,能够支持半导体先进制程对传输纯度的严苛要求。
同时,保视丽开发的G5级200L超净HDPE桶,已进入产品验证阶段,旨在为高端湿电子化学品提供安全、可靠的包装保障。
当前,湿电子化学品市场正持续快速增长,据中国电子材料行业协会预计,2025年全球市场规模将达825.2亿元,其中中国市场增长至292.75亿元,年复合增长率(CAGR)达8.9%。
在这一广阔前景下,国内企业已在电子级硫酸、双氧水等产品实现G5级突破,展现出国产配套能力的稳步提升。保视丽始终专注于高性能超纯氟材料及超纯化学品包装材料的研发与供应,致力于为半导体及高端电子制造领域提供安全、可靠的产品解决方案。