近期,国内清洗设备龙头企业宣布其高温单片SPM设备成功通过产品验证,这是其湿法清洗设备的又一重要技术进展。而保视丽随着其超纯氟材料(PFA)产品性能的持续提升,已能够满足高温单片SPM清洗设备对管道系统的严苛要求。
据SEMI数据显示,2023年全球半导体清洗设备规模达到50亿美元,且单片清洗设备在整体清洗设备市场中占份额70%以上,保持着超高占比。随着半导体技术的不断进步,芯片尺寸持续缩小和对杂质敏感度的显著提升,高温单片SPM设备的重要度也随之攀升,愈发受到行业青睐。
而在半导体制程中,湿法工序需在接近200℃的高温下,使用氢氟酸、盐酸、硝酸、硫酸、磷酸、氨水、过氧化氢水溶液等多种化学品对晶圆进行处理,单片高温SPM设备的应用场景亦十分广泛。
目前,保视丽超纯氟材料(PFA)产品可支持配置于高温单片SPM湿法清洗设备的管道系统中。
PFA俗称可熔性PTFE,是四氟乙烯与少量全氟烷基乙烯基醚共聚物。相比PTFE,其熔融粘结性更强,熔体粘度更低,可耐260℃高温,具有卓越的耐化学腐蚀性,摩擦系数较低,还有良好的电性能,且其电绝缘性不受温度影响。
保视丽超纯氟材料产品有以下优势:
在高温清洗环节,PFA管件能承受高温清洗液的腐蚀,确保设备稳定运行。
在化学清洗过程中,PFA管件优秀的耐腐蚀性能和低金属离子析出的特点,可保证化学品的超纯净性。
PFA 接头作为管道中的枢纽,以特殊的机械性能和密封结构,与PFA管件结合,可构建完整的超纯化学品输送系统。
保视丽作为国内少数掌握半导体级PFA制造技术的企业之一,其核心竞争力在于自主技术创新。公司采用的是大金公司高纯原料,结合自主工艺实现超净PFA管件的规模化生产。产品不仅通过了ISO 9001等国际认证,符合SEMI标准,还具备10+项自主知识产权,是国产化替代超净零部件的代表性企业之一。
为保持行业标准的统一,保视丽还勇于承担社会责任,牵头起草《半导体级超纯可熔融性聚四氟乙烯(PFA)管》团体标准,引领行业发展,加速推动国产替代进程;在保视丽的潜心研发下,该超纯氟材料产品,例如超净PFA管件、超净PFA接头已经通过多家半导体领军企业的产品验证并保持稳定供货。
在半导体制造向更高精度、更严苛工艺迈进的大背景下,保视丽超纯PFA材料通过材料创新与工程化应用,可以为高温单片SPM设备提供可靠的超纯氟材料产品解决方案。未来,随着制程的精密度不断提高,保视丽也将不断加强技术研发投入,持续提供高质量的超纯氟材料产品,推动国产半导体加速发展。