引领行业新规范｜解读《半导体级可熔性聚四氟乙烯（PFA）管》团体标准

2025-10-24

为规范国内半导体级PFA管的生产与质量控制，提升产业链自主可控能力，中国石油和化学工业联合会组织，保视丽牵头起草，20多家企业共同参与的《半导体级可熔性聚四氟乙烯（PFA）管》团体标准（以下称“标准”）历经近2年的编撰与讨论已正式发布，将于2025年12月11日正式实施。
标准以其全面、专业、精细化的具体指标，为中国半导体产业的“黄金血管”设立了严格规范。本期将为您做重点解读。

一、填补空白确立统一标准

在半导体制造工艺中，半导体级PFA管负责输送各类电子化学品及超纯水，其洁净度与可靠性直接关系到最终产品的良率。然而，由于国内缺乏统一的标准，产品质量参差不齐，成为生产中的潜在风险点。
该标准系统地规定了半导体级PFA管的尺寸规格、金属离子析出量等关键纯度指标，测量及检验方法等，为生产、检测和采购提供了明确依据，有效填补了国内半导体级PFA管的标准空白。

二、指标全面超越彰显“中国标准”硬实力

01、统一技术指标和尺寸规格：

标准对于半导体级PFA管的技术指标与尺寸规格均设立了相关基准。例如，在外观、总有机碳、表面粗糙度等技术指标及尺寸规格上，均有明确的数字指标，具体可见下图：

02、超高纯度要求：

作为半导体级PFA管最为核心的纯度指标，标准的要求更为严格，在参考国际标准SEMI F57的同时，还结合国内产业实际情况，在多项技术指标上提升了纯度标准，具有显著的先进性。例如，要求铝、铁、钠等十余种关键金属杂质含量均≤1 μg/m²，严苛程度超过SEMI F57标准。具体如下图：

03、统一测量规范：
为解决以往因测量方法不统一导致的数据不可比问题，本标准对洁净环境、浸泡条件、样品处理作出了严格且细致的规定，确保了检测结果的一致性与公正性。
此外，标准还通过引用GB/T 191、GB/T 601、GB/T 2828 、GB/T 2918 、GB/T 8170 、GB/T 8804.1、GB/T 8806-2008 等细则要求，为其增加了可靠依据。

三、凝聚产业共识构建协同创新生态

标准出台前，半导体产业链上下游在PFA管的生产、检测等过程中，常面临“多规多标”的困境，不仅增加了采购适配成本，更因质量判断依据不一而潜藏良率风险。

本标准将过去分散的企业规范提升为公开、一致的产业共识，无论是管道生产商、芯片制造厂，还是检测机构，自此都有评判准绳，极大地提升了供应链的协同效率与质量可靠性。

保视丽作为牵头起草单位，将以实际行动推动标准的广泛应用，加速构建高标准、高要求、高质量的半导体级PFA管生产生态，为国产化替代贡献力量。

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下一个 : 全球晶圆厂加速扩张，保视丽高端超纯氟材料产品迎来全面增长

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